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北京华林伟业电镀器材有限公司
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供应硅片去胶机
发布时间:2014年11月25日
有 效 期:2015年05月27日
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详细说明
硅片去胶机整机采用德国进口磁白色PP板焊接而成,本机每槽可同时清洗2个花篮。本设备外型美观,耐酸性能好,操作方便,运行可靠,是半导体生产线理想的硅片清洗设备。 ⑵本设备由机架部分、整机部分、槽体部分、伺服系统、及机械传动部分、电气控制系统构成。 ⑶工艺过程可自动/手动,机械手在槽间转换靠PLC来控制,美国进口导轨和机械手来满足工艺时序。 ⑷除装片和取片需人工外,其余工艺动作均由机械手来实现,适用于连续批量生产。 ⑸机台内设高效过滤器,满足净化工作区工作(1000级~100级,10级为特级)。 ⑹人机界面为触摸屏,有安全保护故障代码,故障报警,工艺时序号,方便操作、易于维护。
北京华林伟业电镀器材有限公司
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